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SPA6100半导体参数分析仪

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SPA6100半导体参数分析仪具有高精度、宽测量范围、 快速灵活、兼容性强等优势,产品可以同时支持DC电流-电压(I-V)、电容-电压(C-V)以及高流高压下脉冲式I-V特性的测试。基于模块化的结构设计,可以帮助用户根据测试需要,灵活选配测量单元进行升级。产品支持最高1200V电压、100A大电流、1pA小电流分辨率的测量,同时检测10kHz至1MHz范围内的多频AC电容测量。搭载专用半导体参数测试软件,支持交互式手动操作或结合探针台的自动操作,能够从测量设置、执行、结果分析到数据管理的整个过程,实现高效和可重复的器件表征;也可与高低温箱、温控模块等搭配使用,满足高低温测试需求。

产品特点

●    30μV-1200V,1pA-100A 宽量程测试能力

●     测量精度高,全量程下可达0.03%

●     内置标准器件测试程序,直接调用测试简便 

●     自动实时参数提取、 数据绘图、分析函数

●     在CV和IV测量之间快速切换而无需重新布线

●     提供灵活的夹具定制方案,兼容性强

●     免费提供上位机软件及SCPI指令集


图形化软件界面

配合普赛斯自主开发的专业测试软件,SPA6100可轻松实现半导体材料,器件的参数测试。系统内置常用器件模板,如二极管, 三极管,MOSFET。测试过程中,可直接调用,只需简单设置测试参数即可。软件支持测试数据显示,以及曲线绘制。测试完毕 后,可将数据以及曲线导出保存。

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灵活可定制化的夹具方案

针对市面上不同封装类型的半导体器件产品,普赛斯提供整套夹具解决方案。夹具具有低阻抗、安装简单、种类丰富等特点,可 用于二极管、三极管、场效应晶体管、IGBT、SiC MOS、GaN等单管,模组类产品的测试;也可与探针台连接,实现晶圆级芯片 测试。

不同封装类型的夹具

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产品选型

低压直流I-V源测量单元

型号精度最大电压量程最小电压量程最小电压分辨率最大电流量程最小电流量程最小电流分辨率
SPA-S1000.1%30V300mV30μV1A100nA10pA
SPA-S2000.1%100V300mV30μV1A100nA10pA
SPA-S3000.1%300V300mV30μV1A100nA10pA
SPA-S100B0.03%30V300mV30μV3A100nA10pA
SPA-S200B0.03%100V300mV30μV3A100nA10pA
SPA-S300B0.03%300V300mV30μV3A100nA10pA

低压脉冲I-V源测量单元

型号精度最大电压量程最小电压量程最小电压分辨率最大电流量程最小电流量程最小电流分辨率最小脉冲宽度
SPA-P1000.1%30V300mV30μV1A(直流)/10A(脉冲)100nA10pA200μs
SPA-P2000.1%100V300mV30μV1A(直流)/10A(脉冲)100nA10pA200μs
SPA-P3000.1%300V300mV30μV1A(直流)/10A(脉冲)100nA10pA200μs

高压I-V源测量单元

型号精度最大电压量程最小电压量程最小电压分辨率最大电流量程最小电流量程最小电流分辨率
SPA-E1000.1%1200V100V10mV100mA1μA100pA

高流I-V源测量单元

型号精度最大电压量程最小电压量程最小电压分辨率最大电流量程最小电流量程最小电流分辨率最小脉冲宽度
SPA-HCP1000.1%50V300mV30μV30A(直流)/30A(脉冲)100nA10pA80μs
SPA-HCP2000.1%50V300mV30μV30A(直流)/30A(脉冲)100nA10pA80μs
SPA-HCP3000.1%100V300mV30μV30A(直流)/100A(脉冲)100nA10pA80μs

电容测量单元

型号测试频率测试点数频率分辨率频率输出精度基本精度内部直流偏置信号可测参数与量程
SPA-C10010Hz-1MHz可编程5 位±0.1%±0.5%10mV to 2V (1mV 分辨率) / 100uA-20mA

|Z| , R, X   0.001mΩ-99.999MΩ

|Y| , G, B   0.1nS-99.999S

Cs Cp   0.01pF-9.9999F



*以上规格如有更新,恕不另行通知。

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