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ATE功率器件静态参数测试机

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       普赛斯ATE-3146静态测试机是一款专注于Si/SiC MOSFET、IGBT、GaN HEMT等功率芯片及器件的静态参数测试系统;采用PXIe通信架构方案,支持板卡灵活扩展与高精度电学特性分析;支持单卡1200V大电压、单卡400A大电流输出,且蕞大可扩展至3500V、2000A;可与探针台(Prober)、分选机(Handler)等外设联机使用,应用于半导体产线KGD、DBC及FT工站的芯片及器件的高效分选测试。


       

产品特点

●   单工站MOS DC IV参数测试UPH高达9K(注:单工站,7个DCIV测试项)

●   单台主机支持3工站IV+CV或4工站IV并行测

●   专用于Si/SiCMOSFET、二极管、三极管、IGBT等KGD、DBC及FT测试

●   采用PXIe板卡架构,可根据需求灵活搭配板卡实现精准把控测试成本

●   单卡高达2G局部通信总线带宽支持PXIe,TrigBus同步触发支持高达8线局部总线同步

●   6U标准板卡兼容3U板卡

●   提供单卡1200V大电压、单卡400A大电流输出能力

●   支持扩展高压、高流模组,蕞高可达3500V/2000A

●   内置精密测量电路,实现pA级和uΩ级的精准测量

●   CV测试中速模式下基本精度高达0.05%


系统组成

主要包括测试主机及板卡,测试夹具,工控机、上位机软件等构成。整套系统采用普赛斯自主开发的测试主机,内置高压模块,低压模块,高流模块,电容模块、

高压采集卡、DIO卡等。  配合探针台Prober、分选机Handler可以实现KGD裸芯片,DBC测试,FT测试等。结合专用上位机测试软件,可根据测试项目需要,

设置不同的电压、电流等参数,以满足不同测试需求。测试数据可保存与导出,支持各类格式。



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测试项目

● 二极管:反向击穿电压VR、反向漏电流IR、正向电压VF、正向电流IF、电容值Cd

● 三极管:V(BR)CEO、V(BR)CBO、V(BR)EBO、ICBO、ICEO、IEBO、VCESAT、VBESAT、增益hFE、Cobo、Cibo

● Si MOS/IGBT/SiCMOS/GaN FET:V(BR)DSS/V(BR)CES、IDSS/ICES、VCE(sat)、RDS(on)、VSD/VF、VGS(th)/VGE(th)、IGSS/IGES、栅极内阻Rg

输入电容Ciss/Cies、输出电容Coss/Coes、反向传输电容Crss/Cres、跨导gfs


产品选型

项目最大电压最大电流精度漏电流测试量程
集电极-发射极1200V400A 0.1% 100pA-20mA
项目最大电压最大电流精度最小电流量程
栅极-发射极 30V500mA 0.05% 1μA
项目基本测试精度频率范围电容值范围
电容测试 0.05%  1KHz-2MHz0.1pF-00nF

ATE功率器件静态参数测试机典型配置型号参考:

型号
HCSMU规格HCSMU数量HVSMU规格
HVSMU数量最大电压规格最大电流规格
ATE-314630V/400A11200V/20mA
11200V400A




*以上规格如有更新,恕不另行通知。

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