SPA6100半导体参数分析仪
SPA6100半导体参数分析仪具有高精度、宽测量范围、 快速灵活、兼容性强等优势，产品可以同时支持DC电流-电压(I-V)、电容-电压(C-V)以及高流高压下脉冲式I-V特性的测试。基于模块化的结构设计,可以帮助用户根据测试需要,灵活选配测量单元进行升级。产品支持最高1200V电压、100A大电流、1pA小电流分辨率的测量,同时检测10kHz至1MHz范围内的多频AC电容测量。搭载专用半导体参数测试软件,支持交互式手动操作或结合探针台的自动操作,能够从测量设置、执行、结果分析到数据管理的整个过程，实现高效和可重复的器件表征；也可与高低温箱、温控模块等搭配使用，满足高低温测试需求。
产品特点
● 30μV-1200V，1pA-100A 宽量程测试能力
● 测量精度高，全量程下可达0.03%
● 内置标准器件测试程序，直接调用测试简便
● 自动实时参数提取、 数据绘图、分析函数
● 在CV和IV测量之间快速切换而无需重新布线
● 提供灵活的夹具定制方案，兼容性强
● 免费提供上位机软件及SCPI指令集
图形化软件界面
配合普赛斯自主开发的专业测试软件，SPA6100可轻松实现半导体材料，器件的参数测试。系统内置常用器件模板，如二极管， 三极管，MOSFET。测试过程中，可直接调用，只需简单设置测试参数即可。软件支持测试数据显示，以及曲线绘制。测试完毕 后，可将数据以及曲线导出保存。
灵活可定制化的夹具方案
针对市面上不同封装类型的半导体器件产品，普赛斯提供整套夹具解决方案。夹具具有低阻抗、安装简单、种类丰富等特点，可 用于二极管、三极管、场效应晶体管、IGBT、SiC MOS、GaN等单管，模组类产品的测试；也可与探针台连接，实现晶圆级芯片 测试。
不同封装类型的夹具
产品选型
低压直流I-V源测量单元
| 型号 | 精度 | 最大电压量程 | 最小电压量程 | 最小电压分辨率 | 最大电流量程 | 最小电流量程 | 最小电流分辨率 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| SPA-S100 | 0.1% | 30V | 300mV | 30μV | 1A | 100nA | 10pA |
| SPA-S200 | 0.1% | 100V | 300mV | 30μV | 1A | 100nA | 10pA |
| SPA-S300 | 0.1% | 300V | 300mV | 30μV | 1A | 100nA | 10pA |
| SPA-S100B | 0.03% | 30V | 300mV | 30μV | 3A | 100nA | 10pA |
| SPA-S200B | 0.03% | 100V | 300mV | 30μV | 3A | 100nA | 10pA |
| SPA-S300B | 0.03% | 300V | 300mV | 30μV | 3A | 100nA | 10pA |
低压脉冲I-V源测量单元
| 型号 | 精度 | 最大电压量程 | 最小电压量程 | 最小电压分辨率 | 最大电流量程 | 最小电流量程 | 最小电流分辨率 | 最小脉冲宽度 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| SPA-P100 | 0.1% | 30V | 300mV | 30μV | 1A（直流）/10A（脉冲） | 100nA | 10pA | 200μs |
| SPA-P200 | 0.1% | 100V | 300mV | 30μV | 1A（直流）/10A（脉冲） | 100nA | 10pA | 200μs |
| SPA-P300 | 0.1% | 300V | 300mV | 30μV | 1A（直流）/10A（脉冲） | 100nA | 10pA | 200μs |
高压I-V源测量单元
| 型号 | 精度 | 最大电压量程 | 最小电压量程 | 最小电压分辨率 | 最大电流量程 | 最小电流量程 | 最小电流分辨率 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| SPA-E100 | 0.1% | 1200V | 100V | 10mV | 100mA | 1μA | 100pA |
高流I-V源测量单元
| 型号 | 精度 | 最大电压量程 | 最小电压量程 | 最小电压分辨率 | 最大电流量程 | 最小电流量程 | 最小电流分辨率 | 最小脉冲宽度 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| SPA-HCP100 | 0.1% | 50V | 300mV | 30μV | 30A（直流）/30A（脉冲） | 100nA | 10pA | 80μs |
| SPA-HCP200 | 0.1% | 50V | 300mV | 30μV | 30A（直流）/30A（脉冲） | 100nA | 10pA | 80μs |
| SPA-HCP300 | 0.1% | 100V | 300mV | 30μV | 30A（直流）/100A（脉冲） | 100nA | 10pA | 80μs |
电容测量单元
| 型号 | 测试频率 | 测试点数 | 频率分辨率 | 频率输出精度 | 基本精度 | 内部直流偏置信号 | 可测参数与量程 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| SPA-C100 | 10Hz-1MHz | 可编程 | 5 位 | ±0.1% | ±0.5% | 10mV to 2V (1mV 分辨率) / 100uA-20mA | ｜Z｜ , R, X 0.001mΩ-99.999MΩ ｜Y｜ , G, B 0.1nS-99.999S Cs Cp 0.01pF-9.9999F |
*以上规格如有更新，恕不另行通知。
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