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国产数字源表(SMU)和探针台测试应用案例

来源:admin 时间:2024-03-06 13:16 浏览量:1089

1、MPD晶圆测试

测试设备:脉冲源表P300+探针台

异常现象:测试中存在一个3nA左右的漏电流

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图:异常测试曲线图

异常原因:测试现场的连接线屏蔽层接地不达标,外界电磁环境的作用下使设备对大地的电位发生变化,造成设备工作不稳定

优化措施:将屏蔽层接地

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图:优化后测试曲线图


2、三极管测试

测试设备:2台直流源表S300+探针台

异常现象:源表输出0-3V的电压扫描,当输出的电压小于0.5V时,源表回读的电压值为-0.5V

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图:异常测试结果

异常原因探针台没有接地,探针台结构上存在金属,在带电的环境下会存在静电,从而对测试结果带来影响

优化措施:将探针台通过导线接入大地

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图:优化后测试结果

3、芯片测试

测试设备:直流源表S300+探针台

异常现象:源表未输出,探针冒火花

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图:异常测试-探针冒火花

异常原因三同轴线缆GUARD信号悬空。GUARD信号如连接正确,其电势与信号层基本一致,所以漏电很小,从而对信号起到了一定的保护作用;但是GUARD信号悬空,其与信号层的电势差较大,这样漏电较大,对信号的影响很大

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优化措施:将GUARD信号接入源表,使GUARD信号起到保护作用

4、PD测试

测试设备:直流源表S300+探针台

异常现象:源表在100nA的量程下,输出-2V电压,实际显示-2.69V

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图:异常测试结果

异常原因:客户使用的同轴线接触不良,探针台没有接地

优化措施:更换新的同轴线,将探针台通过导线接入大地


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图:优化后测试结果

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